多弧加濺射復(fù)合多用鍍膜機
1 SA1315-A8M2型離子鍍膜機是一臺多弧+濺射復(fù)合離子鍍膜設(shè)備 ,可在不銹鋼 、碳鋼 、硬質(zhì)合金、玻璃 、陶瓷等金屬及非金屬材料表面鍍覆 TiN 、ZrN、ZrNC、CrN、TiNC及其它復(fù)合膜層 ,從而提高制品表面的耐磨性能和抗蝕性能 ,并提高產(chǎn)品的高技術(shù)含量。
2 該機為特別開發(fā)的磁控+濺射復(fù)合鍍膜機。
技術(shù)指標
鍍膜室尺寸:Φ800 mm X H1200 mm :Φ1200 mm XH 900 mm :Φ1300 mm X H1500 mm
極限真空度:優(yōu)于<1.3×10-3pa(冷態(tài)包括轉(zhuǎn)架)
排空時間:從大氣抽至6.6 x 10-3 Pa時間〈 20min
等離子體加速器離化源數(shù):8個
距形濺射靶2個
采用最新開發(fā)的五極離化源:確保顆粒細膩;幅射均勻;高真空穩(wěn)弧
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內(nèi)置加速電場
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恒定高斯的水平磁場
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直接水冷(或間接水冷)
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自動引弧
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快速續(xù)弧
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采用自穩(wěn)弧電源
偏壓電源:20 KVA。采用我公司獨有的專用大功率偏壓電源和濺射靶專用電源 ,具有特殊保護電路和快速滅弧裝置。
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20KW配8弧設(shè)備使用,每弧分配功率高達3KW。裝滿爐,開全靶,1 KV 齊轟輕松自如
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特定函數(shù)波形輸出,徹底消除危害性弧光
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數(shù)字邏輯控制,準確無誤
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調(diào)制電壓的主弧轟擊,場能強大
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輔助的快速恢復(fù)功能,減少活化時間
工件架轉(zhuǎn)速
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變頻調(diào)速,無級漸變,緩起緩?fù)?可換向
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負重200KG
供氣系統(tǒng):兩路
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自動跟隨真空室壓強,自動調(diào)節(jié)進氣量
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每路氣均有質(zhì)量流量顯示
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無需混氣罐,調(diào)節(jié)無滯后
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預(yù)設(shè)比例,總量自動或手動均可
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預(yù)設(shè)強置換功能,生成起步氣沖
加熱器輸出功率0-18KW
壓強控制:節(jié)流閥;自動壓強調(diào)節(jié)
設(shè)備總功率:110KVA,380V,三相四線制
溫度測量方式:熱電偶
設(shè)備總功率:110KVA max,380伏、三相四線制
設(shè)備總重:3.5t
設(shè)備占地面積:5m X 8m
冷卻水流量:8t/hr(進水溫度25攝氏度以下,壓力2KG/CM 2)