電弧深黑技術(shù)
離子過濾
比例給氣自動流量控制器
數(shù)控節(jié)流閥
實(shí)驗(yàn)室專用小型鍍膜機(jī)
1 SA0505-A4 型離子鍍膜機(jī)是一臺專為學(xué)校和科研單位研發(fā)的小型離子鍍膜設(shè)備，可用于各種PVD試驗(yàn)。
2 該機(jī)為特別開發(fā)的實(shí)驗(yàn)室專用機(jī)。
技術(shù)指標(biāo)
鍍膜室尺寸:Φ500 mm X H 500 mm
極限真空度:優(yōu)于＜5.3×10-4Pa
排空時間:（冷態(tài)，包括工件架）從大氣抽至6.6 x 10-3 Pa時間〈 20min
等離子體加速器離化源數(shù):4個
采用最新開發(fā)的五極離化源:確保顆粒細(xì)膩;幅射均勻;高真空穩(wěn)弧 。
技術(shù)特征:
-
內(nèi)置加速電場
-
恒定高斯的水平磁場
-
直接水冷（或間接水冷）
-
自動引弧
-
快速續(xù)弧
-
采用自穩(wěn)弧電源
工件架直流負(fù)偏壓電源：20 KVA。
采用我公司獨(dú)有的工具鍍專用偏壓電源 ，具有特殊保護(hù)電路和快速滅弧裝置。
-
20KW配6弧設(shè)備使用,每弧分配功率高達(dá)3KW。裝滿爐,開全靶,1 KV 齊轟輕松自如
-
特定函數(shù)波形輸出,徹底消除危害性弧光
-
數(shù)字邏輯控制,準(zhǔn)確無誤
-
調(diào)制電壓的主弧轟擊,場能強(qiáng)大
-
輔助的快速恢復(fù)功能,減少活化時間
工件架轉(zhuǎn)速 額定值:公轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速4r/mim,自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速15r/min。
-
變頻調(diào)速,無級漸變,緩起緩?fù)?可換向
-
負(fù)重40KG
供氣系統(tǒng):兩路（可選配三路或四路）比例給氣自動質(zhì)量流量控制.
流量500—1000 SCCM 每路
-
自動跟隨真空室壓強(qiáng),自動調(diào)節(jié)進(jìn)氣量
-
每路氣均有質(zhì)量流量顯示
-
無需混氣罐,調(diào)節(jié)無滯后
-
預(yù)設(shè)比例,總量自動或手動均可
-
預(yù)設(shè)強(qiáng)置換功能,生成起步氣沖
加熱器輸出功率0-18KW
壓強(qiáng)控制:節(jié)流閥;自動壓強(qiáng)調(diào)節(jié)
設(shè)備總功率: 50KVA,380V,三相四線制
溫度測量方式:熱電偶
表面測溫方式:紅外測溫儀（選購件）
設(shè)備總功率:110KVA max,380伏、三相四線制
設(shè)備總重:2t
設(shè)備占地面積:2m X 3m
冷卻水流量:2.5t/hr（進(jìn)水溫度25攝氏度以下，壓力2KG/CM 2）
π形轉(zhuǎn)靶 
石墨弧靶 
線形離子源 
離子滲透 
大功率偏壓電源 
引孤系統(tǒng)改造 